臭氧经常被用于污水处理厂等场所的水消毒，但所需的设备对于水冷却器等小型设备来说通常太大了。然而一种新型的微型臭氧发生器可能会改变这一情况。据了解，臭氧气体通过氧化它们的保护外层膜、导致外层膜破裂来杀死有害细菌和其他病原体。
它比氯气等化学物质更有效，但跟它们不同的是，它不会影响到水的味道或气味，并且在处理后水中不会残留臭氧。
也就是说，必须根据需要在现场生成。换言之，臭氧不能像化学物质那样能够预先批量生产并储存起来以备往后使用。这就是微型臭氧发生器的用途所在。
目前，该设备的雏形只有几立方厘米大小，可以放置在第三方供水设备的水流管道中。
生成器内的传感器芯片会持续不断地测量水的导电性、质量流量和温度。电导率决定了在电解过程中需要多少电流，流量决定了臭氧产生的速度，温度决定了需要多少臭氧--臭氧在更高的温度下会分解得更快。臭氧是由一个内置的电解池产生，该电解池包含一对金刚石涂层的硅电极。
两个电极被离子导电隔膜隔开，当电压被施加在电极上，水在电解过程的作用下被分解。由于金刚石层覆盖在电极上，所以这个过程首先会形成羟基自由基，然后发生反应，主要形成臭氧(O3)和氧气(O2)。
